環形晶圓清洗機 (ATOM)•400mm

✽ (ATOM)•400mm環形晶圓清洗機 - 採用HBM清洗,2.5D

• 支援翹曲晶圓（≤ 3 mm）
• 採用 HBM 和 2.5D 製程進行清洗
•   脫黏清洗
•   UBM 蝕刻（銅、鈦）
•   鋸切後清洗