單晶圓清洗 8 個清洗模組

✽ 吞吐量：300 WPH，8 個槽體
• 經現場驗證的性能(19 nm)
• 降低
• 前端線 (FEOL) 或後端線 (BEOL)
• 清洗
• 後清洗(SC1、DHF等)