✽ 超潔淨 - 全開放式HEPA◦
✽ 超潔淨 - 整間無塵室HEPA◦
✽ 潔淨對策 - 清潔通風系統◦
• 運行成本(Running cost)有效控制◦ • 較低的初始成本安裝／建置清潔區域◦ • 可以提高(昇)清潔度的水準◦
