快速熱處理設備系統

✽RHP200(XL)快速熱處理系統（適用於Si、SiC、GaN的RTP）

碳化矽（可選：6吋或8吋轉換）
• 更佳的溫度均勻性，尤其適用於RTO工藝或註入後退火
• RTO/Rs非均勻性：RTO 0.53%，Rs 0.29%，1σ
• 專利平紋燈陣列，實現最佳溫度控制
• 特殊設計的燈泡，提高熱效率