★設備銷售&服務:

半導體-設備銷售&租賃服務

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✽ 半導體自動化設備-ROBOT System＆EFEM&AGV。

✽ 半導體製程設備-FEOL/BEOL。
① 多尺寸單晶圓清洗。
② 快速熱處理系統（適用於Si、SiC、GaN的RTP）。

✽ TGV-LASER改質通孔設備。

✽ 半導體陶瓷加熱器。